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Sonoscan AW系列 C-SAM 超聲波掃描顯微鏡
價格
電議
型號
Sonoscan AW系列
品牌
Sonoscan
所在地
北京市 海淀區(qū)
更新時間
2024-11-08 11:01:03
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產(chǎn)品簡介
?? w?? Sonoscan AW系列 C-SAM 超聲波掃描顯微鏡是為晶圓檢測而設計全自動系統(tǒng)。
產(chǎn)品描述
Sonoscan AW系列 C-SAM 超聲波掃描顯微鏡
AW系列產(chǎn)品是為晶圓檢測而設計全自動系統(tǒng)。高靈敏度和高產(chǎn)能的優(yōu)勢可用于多種鍵合的晶圓的評估,如SOI,MEMS,LED,2.5D和3D。該AW系列可以檢測兩晶圓間空隙直徑只有5微米以及晶圓分層薄至200埃的間隙。具有兩個或更多的掃描頭,分段站和干燥站時,AW被設計為有效地掃描晶圓并同時進行干燥。
AW 系列-AW200 & AW300
特色:
與SECS-II/GEM/SEMI300毫米標準兼容
非浸水瀑布式探頭
*的圖像分析軟件
高精度機器手可以提高產(chǎn)能
用于FOUPs,SMIF Pod,FOSB及開放式晶圓盒的BOLTS標準裝載接口
自供水及真空組件的選項
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