Nikon L200/L200D高倍金相顯微鏡專為8寸晶圓及大面板LCD/TFT產(chǎn)業(yè)開發(fā)設(shè)計(jì)。同樣采用的CFI60無(wú)窮遠(yuǎn)高對(duì)比度光學(xué)系統(tǒng)將尼康的CF（消色差）設(shè)計(jì)與無(wú)限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)結(jié)合在一起，使得物鏡不僅工作距離更長(zhǎng)，而且數(shù)值孔徑更高，并提供高達(dá)25mm的廣闊視野。

Nikon L200/L200D高倍金相顯微鏡的特點(diǎn)：

一，              可以觀察的大硅片直徑為200mm，觀察倍率15X～3000X（視目鏡和物鏡的組合而定）；

二，               物鏡齊焦距離為60mm，可以兼顧高數(shù)值孔徑和長(zhǎng)工作距離兩方面的要求；

三，               主機(jī)剛性高，具有很好的抗振性能，具有防塵、防污染、防靜電功能；

四，               光亮調(diào)節(jié)、光闌調(diào)節(jié)、物鏡轉(zhuǎn)換等操作都集中在前面，使用方便，即使長(zhǎng)期操作也不易產(chǎn)生疲勞；

五，               可以與尼康的硅片輸送機(jī)配合使用，提高硅片檢測(cè)效率。

六， ＜微分干涉套＞ 全體物鏡共用物鏡轉(zhuǎn)換器內(nèi)的諾曼斯基棱鏡，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成象質(zhì)量高。

NIKON集成電路檢查顯微鏡ECLIPSE L200/D規(guī)格