深冷泵

Water Vapor Cryochiller

水汽捕集泵（Water Vapor Cryochiller）， 主要用于輔助抽真空以及改善真空質量, 在真空度 1 至 10-6 Pa 之間捕集真空腔內水汽和油分子, 提升產品的產能和成膜質量.。