一、URE-2000/35紫外掩膜光刻機(jī)產(chǎn)品特征：

URE-2000/35采用自動(dòng)找平，具備真空接觸曝光、硬接觸曝、壓力接觸曝以及接近式曝光四種功能，自動(dòng)分離對(duì)準(zhǔn)間隙和消除 曝光間隙，采用 350W 進(jìn)口(德國(guó))直流汞燈，可調(diào)節(jié)光的能量密度。設(shè)備外形美觀精制，性能非?？煽浚詣?dòng)化程 度很高，操作十分方便。非常適合工廠(效率高，操作傻瓜型，自動(dòng)化程度高)和高校教學(xué)科研 (可靠性好，演示方便)。

二、URE-2000/35紫外掩膜光刻機(jī)技術(shù)參數(shù)：

（1）曝光面積：4英寸

（2）曝光波長(zhǎng)：365nm

（3）分辨力：0.8μm

（4）對(duì)準(zhǔn)精度：±0. 8μm

（5）掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)范圍：X：15mm; Y：15mm

（6）掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸；

（7）樣片尺寸：直徑φ10mm-- φ100mm(各種不規(guī)則片)；

（8）樣片厚度：0.1mm--5mm(可擴(kuò)展為15mm)；

（9）曝光方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式）和定劑量；

（10）具備真空接觸曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能；

（11）照明不均勻性： 3%（φ100mm 范圍）

（12）雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡：既可通過(guò)目鏡目視對(duì)準(zhǔn)，也可通過(guò)CCD+顯示器對(duì)準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)*倍數(shù)400倍，光學(xué)+電子放大800倍

物鏡三對(duì)：4倍、10倍、20倍

目鏡三對(duì)：10倍、16倍、20倍

（13）調(diào)平接觸壓力通過(guò)傳感器保證重復(fù)；

（14）數(shù)字設(shè)定對(duì)準(zhǔn)間隙和曝光間隙；

（15）具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口；

（16）掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：X: ±5mm;   Y: ±5mm;  θ：±6o

（17）*膠厚：400μm（SU8膠，用戶提供檢測(cè)條件）

（18）光源平行性：3.5 o

（19）曝光能量密度：>20mW/cm2,照明面溫度<35 o

（20） 單層曝光一鍵完成；

（21）采用球氣浮自動(dòng)找平；

（22）汞燈功率：350W（直流，進(jìn)口汞燈）；

（23）外形尺寸：1200mm（長(zhǎng)）×900mm(寬)×1750mm（高）；

三、配置

（1）曝光頭

①冷光橢球鏡

②350W進(jìn)口直流高壓汞燈(進(jìn)口)

③XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺(tái)

④冷卻風(fēng)扇

⑥光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門(mén)、準(zhǔn)直鏡鏡1、準(zhǔn)直鏡鏡2、蠅眼透鏡組（79個(gè)透鏡）、i線濾光片、場(chǎng)鏡1、冷光反射鏡1、反射鏡2

（2）對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)

①掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)臺(tái)

②掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)

③轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)

④樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),自動(dòng)完成

⑤基片抽拉式上下機(jī)構(gòu)

⑥樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，電機(jī)自動(dòng)調(diào)

⑦承片臺(tái)4個(gè)：f15mm 、2英寸、3英寸、4英寸（可按用戶要求增減）

⑧掩模夾4個(gè)：3英寸、4英寸、5英寸（可按用戶要求增減）

（3）對(duì)準(zhǔn)顯微鏡

①光源（配備品2只）、 電源

②雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡主體

③目鏡3對(duì)（10倍、16倍、20倍，共6個(gè)）

④物鏡3對(duì)（4倍、10倍、20倍，共6個(gè)）

⑤CCD對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，21寸液晶顯示器

（4）電控系統(tǒng)

①汞燈觸發(fā)電源(350W直流汞燈)

②單片機(jī)控制系統(tǒng)

③控制柜桌

（5）氣動(dòng)系統(tǒng)

①氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開(kāi)關(guān)等

②電磁閥驅(qū)動(dòng)

③氣動(dòng)儀表

（6）其他附件

①真空泵一臺(tái)

② 空壓機(jī)一臺(tái)

③管道

（7）技術(shù)資料

①使用維修說(shuō)明書(shū)

②顯微鏡使用說(shuō)明書(shū)