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科冪 單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)

價格
電議

型號
PE-CVD

品牌
科冪儀器

所在地
安徽省 合肥市

更新時間
2022-04-06 09:32:15

瀏覽次數

    單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)

    產品簡介

     單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)是一款化學氣相沉積薄膜類制備設備,該設備在常規(guī)產品上進行了一系列的改進,包括:供氣系統(tǒng)集成、真空系統(tǒng)集成等。體現出體積小、操作方便、智能化程度高等特點。

    產品特點

    • 高性能射頻電源.等離子體更穩(wěn)定;
    • 滑軌式結構能使整個反應腔室都處于輝光產生區(qū);
    • 可實現快速升溫和降溫功能;與傳統(tǒng)CVD相比較,生長溫度更低。

    技術參數

    項目 TFE-1200-50-i-220
    可達溫度 1150℃(短期)
    額定溫度 1100℃
    升溫速率 ≤10℃/min
    控制精度 ±1℃
    爐管尺寸 Φ30/50/60*1200mm
    爐膛尺寸 Φ80*220mm
    加熱區(qū)長度 220mm
    恒溫區(qū)長度 80mm
    加熱元件 國產電阻絲
    額定功率 3KW
    供氣系統(tǒng) 三路高精度MFC 量程0-500sccm(可定制)
    射頻電源 射頻功:5-500W;射頻頻:13.56MHz;匹配方式:自動匹配
    真空系統(tǒng) 雙級旋片真空泵(可定制擴散泵 分子泵等)
    外形尺寸 1250510810mm

    應用領域

    管式爐主要運用于冶金,玻璃,熱處理,鋰電正負極材料,新能源,磨具等行業(yè),測定材料在一定氣溫條件下的*設備。爐型結構簡單,操作容易,便于控制,能連續(xù)生產。

    注意事項

    1. 在開始使用的時候,先要熟讀使用說明書,其次要保證用電安全,各項指標檢測完畢,然后再開始工作。
    2. 在工作中,*戴上隔高溫手套和口罩,以免吸入管式爐在高溫下發(fā)揮的有害氣體。
    3. 每次工作后,要保持管內清潔,不要殘留樣品在爐內,以免出現化學反應,造成剛玉管的開裂,另外,在高溫送樣或者取樣的時候也會造成剛玉管的斷裂,所以盡量控制在200度以內進行取樣放樣。
    4. 管式爐量放在通風處,不要放在易燃易爆或者有腐蝕性氣體的環(huán)境中。
    5. 在溫度低于300度的時候,再次升溫的速率不能過快
    6. 使用完畢后,一定要關閉電源。

    公司實力

    安徽科冪儀器有限公司(證券代碼:612052)成立于2014年,公司部位于合肥市*高新技術開發(fā)區(qū),擁有9189㎡的研發(fā)制造基地,是一家*從事科研儀器設備研發(fā)、制造的*高新技術企業(yè)。 公司學術帶頭人為科學技術大學博導,技術團隊由2名博士、11名碩士和數名高級工程師組成,本科及以上學歷占比過80%,擁有一支高水平、跨學科的技術研發(fā)團隊??苾缪兄频亩喾N具有完全知識產權的科研儀器并*投放市場,產品覆蓋國內所有“985”、“211”高校實驗室及國內外1000多家科研單位,成為科研精密反應儀器設備領域首屈一指的。

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