隨著我國(guó)電子產(chǎn)品制造業(yè)的飛速發(fā)展，用于生產(chǎn)集成電路芯片和液晶顯示器面板等高精度電子產(chǎn)品的潔凈廠房相繼建造。由于高精度電子產(chǎn)品的成品率和可靠性很大程度上取決于制造環(huán)境的潔凈程度和物理環(huán)境，因此電子工業(yè)潔凈廠房對(duì)其潔凈度和溫濕度等關(guān)鍵參數(shù)的要求越來越嚴(yán)格。ＧＢ５０４７２—２００８《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》要求根據(jù)電子工業(yè)潔凈廠房不同潔凈度級(jí)別，其潔凈度檢測(cè)長(zhǎng)時(shí)間間隔為６個(gè)月（空氣潔凈度１～５級(jí)）或１年（空氣潔凈度６～９級(jí)）；截面風(fēng)速、換氣次數(shù)、溫濕度和噪聲等參數(shù)檢測(cè)時(shí)間間隔不過１２個(gè)月。筆者依據(jù)ＧＢ５０４７２—２００８和ＧＢ５０５９１—２０１０《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》相關(guān)要求，對(duì)電子工業(yè)潔凈廠房潔凈區(qū)的潔凈度、截面風(fēng)速、換氣次數(shù)和溫濕度等重要參數(shù)檢測(cè)方法和要點(diǎn)進(jìn)行梳理分析，以期為相關(guān)從業(yè)人員提供參考。電子工業(yè)潔凈廠房潔凈區(qū)型式與關(guān)鍵檢測(cè)參數(shù)根據(jù)電子工業(yè)潔凈廠房潔凈區(qū)生產(chǎn)的電子產(chǎn)品工藝特點(diǎn)、空氣潔凈度等級(jí)和工藝生產(chǎn)流程要求可分為隧道式、開放式和微環(huán)境式等，也可按照氣流流型分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。通常情況下，考慮節(jié)約能源、減少初投資和降低運(yùn)行費(fèi)用等因素，ＧＢ５０４７２—２００８提出“各種空氣潔凈度等級(jí)的電子工業(yè)潔凈廠房宜采用混合流潔凈室。對(duì)空氣潔凈度要求嚴(yán)格時(shí)，宜采用微環(huán)境等型式”。

所示為檢測(cè)的一典型電子工業(yè)潔凈廠房平面圖。通常電子工業(yè)潔凈廠房從入口處依次為非潔凈區(qū)的一次更衣區(qū)、男／女更衣室、緩沖室，之后進(jìn)入潔凈區(qū)范圍。根據(jù)不同工藝要求，廠房?jī)?nèi)可設(shè)置多個(gè)不同潔凈度級(jí)別，相鄰的不同潔凈區(qū)之間設(shè)置一定壓力梯度，保證高級(jí)別潔凈度房間不被低級(jí)別潔凈度房間污染。ＧＢ５０４７２—２００８的３.２.１條提出電子工業(yè)潔凈廠房的潔凈區(qū)空氣潔凈度等級(jí)應(yīng)按照ＧＢ５００７３—２０１３《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》執(zhí)行。fjaosijfoiaew:namespace prefix = "o" ns = "urn:schemas-microsoft-com:office:office" />

潔凈度、截面風(fēng)速與換氣次數(shù)、溫／濕度與噪聲、照度是潔凈區(qū)（室）凈化空調(diào)系統(tǒng)關(guān)鍵檢測(cè)參數(shù)。合理設(shè)計(jì)相關(guān)參數(shù)檢測(cè)次序?qū)z測(cè)工作效率和結(jié)果有重要影響。通過對(duì)大量電子工業(yè)廠房潔凈區(qū)（室）凈化空調(diào)系統(tǒng)檢測(cè)工作的結(jié)，建議采取的檢測(cè)次序?yàn)橄葯z測(cè)截面風(fēng)速（或換氣次數(shù)），其次檢測(cè)潔凈度，再檢測(cè)噪聲與溫／濕度，而照度的檢測(cè)可穿插于任何一個(gè)檢測(cè)過程中。

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