干涉儀是利用干涉原理測(cè)量光程之差從而測(cè)定有關(guān)物理量的光學(xué)儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會(huì)非常靈敏地導(dǎo)致干涉條紋的移動(dòng)，而某一束相干光的光程變化是由它所通過(guò)的幾何路程或介質(zhì)折射率的變化引起，所以通過(guò)干涉條紋的移動(dòng)變化可測(cè)量幾何長(zhǎng)度或折射率的微小改變量，從而測(cè)得與此有關(guān)的其他物理量。

FR-pRo VIS/NIR基礎(chǔ)型膜厚儀（紫外/近紅外-高分辨率）光譜范圍：350-1000nm ：

Α)鹵鎢光源系統(tǒng)Tungsten Halogen light source 全軟件控制的光譜范圍和輻照強(qiáng)度。

小型光譜儀光譜范圍(350nm-1000nm)，分辨精度可達(dá)3648像素， 16位級(jí) A/D 分辨精度；配有USB通訊接口；

光學(xué)連接器SMA 905, 光譜儀功率：110VAC/230VAC – 60Hz/50Hz.

10mm厚度的氧化鋁面板，每英寸（25mm）間距，配有M6 (or ?”) 口徑鉆孔，用以安裝光學(xué)部件。

樣品放置臺(tái)，配有多點(diǎn)Z軸聚焦和X-Y軸移動(dòng)調(diào)節(jié)。反射探針夾具調(diào)節(jié)范圍 (200mm – 200mm – 60mm)，可在測(cè)試區(qū)域內(nèi)*調(diào)節(jié)。

Β) FR-Monitor膜厚測(cè)試軟件系統(tǒng)，

可計(jì)算如下參數(shù)：

1）單一或堆積膜層的厚度；

2）靜態(tài)或動(dòng)態(tài)模式下，單一膜層的折射率；本軟件包含了類(lèi)型豐富的材料折射率數(shù)據(jù)庫(kù)，可以有效地協(xié)助用戶(hù)進(jìn)行線下或者在線測(cè)試分析。本系統(tǒng)可支持吸收率，透射率和反射率的測(cè)量，還提供任何堆積膜層的理論性反射光譜，一次使用授權(quán)，即可安裝在任何其他電腦上作膜厚測(cè)試后的結(jié)果分析使用。

C) 參考樣片：

a) 經(jīng)校準(zhǔn)過(guò)的反射標(biāo)準(zhǔn)硅片；

b) 經(jīng)校準(zhǔn)過(guò)的帶有SiO₂/Si 特征區(qū)域的樣片；

c) 經(jīng)校準(zhǔn)過(guò)的帶有Si₃N₄/SiO₂/Si特征區(qū)域的樣片；

D) 反射光學(xué)探針

系統(tǒng)內(nèi)嵌6組透射光探針200μm, 1組反射光探針200μm；