產品背景

激光干涉測量使用光的波長作為測量單位的基本原理在19世紀80代左右開始提出。從那以后起，這一原理雖然歷經發(fā)展和完善，但始終以測量光波干涉為依據，因此得名“干涉測量”。詳詢李工（vx）

激光系統射出的光波具有三種主要特性：

? 已知波長，可實現準確測量

? 波長非常短，可實現或高分辨率測量

? 所有光波相位相同，可根據已知的基準進行測量

  干涉測量是一種相對運動測量（從初始位置開始測量），而不是一種*測量（從特定位置開始測量）。不同的光學鏡組將激光光束穿過不同的路徑，可從單個激光裝置進行多種模式測量（例如，線性、角度、直線度）。

環(huán)境補償，無論您的激光裝置多么準確和穩(wěn)定，激光的測量波長都會因其傳播環(huán)境而改變。氣溫、氣壓和相對濕度的任何變化都將導致測量誤差。

若沒有可靠準確的波長補償，即使在典型的環(huán)境條件下，也常常會出現20 ppm（百萬分）的線性測量誤差。通過應用的環(huán)境補償，可將這些誤差降至±0.5 ppm。詳詢李工（vx）

產品介紹

雷尼紹XL-80激光干涉儀，可用于：

1.機床與坐標測量機(CMM)

按照國際標準驗證機床和坐標測量機的精品工具

2.研發(fā)與計量

供校準和研究實驗室使用的可溯源性測量

運動系統

3.動態(tài)性能，支持高速、高分辨率應用

關鍵指標
±0.5 ppm	線性測量精度已在整個環(huán)境工作條件范圍內得到 (±0.5μm/m)
1 nm	線性分辨率（即使在*速度下）
4 m/s	*移動速度
6分鐘	激光預熱時間
50 kHz	動態(tài)采集率
80 m	線性測量距離為標準設定
3年	激光標準保修期（可延長至5年）

校準是過程控制的基礎

現代工業(yè)需要滿足日益嚴格的公差、客戶計劃以及國際質量標準的要求。與此同時，還要承受降低成本的壓力，因此生產設備的工作性能受到前所未有的重視。測量和校準設備可提供幫助...

產品益處

給設備用戶帶來的好處 

1.提高產量

2.符合ISO9000系列標準

3.從競爭對手那里贏得高精度加工合同  

4.通過識別自身的誤差來源延長機器使用壽命

5.對機器性能進行分級，為每一項作業(yè)選擇*機器

6.通過監(jiān)測磨損情況，計劃并*限度減少機器停機時間

給設備制造商帶來的好處 

1.證明符合規(guī)范

2.改進機器設計

3.提供*的維護服務

4.建造精度更高的機器

5.減少機器制造周期時間

6.在制造過程中對機器進行測試和診斷

應用范疇

1.線性測量

線性設置可沿軸測量位置精度該設置通過比較機器控制器上顯示的運動與激光系統測量的運動，來測量軸的線性定位精度。該設置提供的精度達±0.5 ppm（百萬分），分辨率達1納米。軸的重復性可通過多次測試進行測量。在線性測量過程中，激光系統會測量參考位置沿測量光路到光學反射鏡之間相對距離的變化?？梢砸苿悠渲幸粋€光學組件，另一個光學組件保持靜止不動。40 m - 80 m范圍內的應用可使用長距離線性組件。

2.角度測量

角度設置可沿軸測量俯仰和扭擺誤差，俯仰和扭擺角度誤差是造成機床和坐標測量機位置誤差的兩個主要因素。即使是主軸的一個小誤差，都可能對刀尖造成重大影響。這一設置可以測量高達±10°的角度偏移，分辨率為0.01角秒。通過監(jiān)測角度反射鏡的移動產生的光路變化進行角度測量。角度干涉鏡*安裝在機器上的某個固定位置。然后將角度反射鏡安裝在機器的移動部件上。詳詢于工（vx）

3.直線度測量

直線度設置可測量與移動軸垂直平面內的誤差直線度測量結果記錄了垂直于軸運動的水平和垂直平面內的誤差。直線度誤差會直接影響機器的位置精度及輪廓精度。這可能是因為導軌磨損、事故或機器地基不牢造成的。通過監(jiān)測直線度反射鏡或直線度分光鏡（Wollaston棱鏡）的橫向位移產生的光路變化進行直線度測量?？商峁y量較短的軸 (0.1 – 4 m) 和較長的軸 (1 – 30 m) 的組件。結合兩個直線度測量結果可評估獨立軸的平行度。可提供用于測量垂直軸直線度的附件。

? 直線度光閘

? 大角錐反射鏡

? 直線度基板

? 激光準直輔助鏡

? 固定轉向鏡

? 可調式轉向鏡

4.回轉軸測量

XR20-W回轉軸校準裝置和XL-80激光系統可測量回轉軸的位置精度該回轉設置可通過比較機器控制器上顯示的運動和硬件測量的運動，來測量回轉軸的位置精度。該設置采用了XL-80激光 系統、XR20-W回轉軸校準裝置和角度干涉鏡。XR20-W配備一個緊湊輕巧的無線設備，可在±1角秒的精度范圍內采集回轉位置數據。XR20-W在設計上易于使用、數據采集速度迄今為止*快且無需操作人員干預。它提供可溯源的測量結果，可利用RotaryXL軟件包按照國際標準出具報告。“擺動軸轉臺測量軟件”能夠在很難將XR20-W安裝到機床回轉軸中心點的機床配置中使用該系統。詳詢李工（vx）

5.平面度測量

該平面度設置可測量坐標測量機臺面以及各種平板的表面形狀平面度測量對表面的形狀進行分析。這可用于創(chuàng)建三維圖并記錄與理想平面的偏差。如果這些誤差對應用的影響很大，那么可能需要進行拋光等修正工作。平面度測量組件包含兩個平面度鏡和三個適合不同平面尺寸的基板。平面度鏡不僅可以水平旋轉，還可以垂直調整傾斜。這可以實現對激光光束的水平和垂直調整。另外，平面度測量還需要使用角度測量光學鏡組。

執(zhí)行平面度測量的兩種標準方法均由激光軟件支持：

? 對角線（莫氏）法 — 僅限在八條預定義的直線上進行測量。

? 網格法 — 任何數量的直線均可在整個平面的兩個正交方向上進行測量。

6.垂直度測量

該垂直度設置可測量兩條標稱垂直坐標軸的垂直度軸之間需要相互垂直并在整個軸長度保持準確。垂直度誤差將直接影響機器生產的工件的定位精度。這些誤差可能是因為機器地基移動或龍門機器參考點位置傳感器安裝失調所致。通過使用一個經過校準的光學角尺并結合兩個直線度測量結果，可以計算兩軸之間的垂直度。要完成垂直軸的垂直度測量，需要使用前面提到的用于測量垂直方向直線度的附件。根據應用的配置，可能還需要其他安裝附件。您當地的雷尼紹辦事處可為您提供*個性化解決方案的建議。詳詢李工（vx）