壓電千分尺是指在手調(diào)千分尺的基礎(chǔ)上集成壓電定位運動平臺， 手調(diào)千分尺可進行 13mm 行程的宏觀調(diào)節(jié)，壓電運動平臺可進行 25μm 或 100μm 行程的納米級微觀調(diào)節(jié)，且千分尺的調(diào)節(jié)精度在壓電運動平臺的調(diào)節(jié)范圍內(nèi)，從而保證調(diào)節(jié)的便捷及精度。

特性：

    ? X 向運動，1~3維自由組合 

    ? 手調(diào)千分尺行程 13mm，分辨率達 10μm 

    ? 壓電精調(diào)行程 100μm，分辨率達 2.5nm

    ? 壓電調(diào)節(jié)可選配應(yīng)變傳感器

注：壓電驅(qū)動的標(biāo)稱行程是在 0~120V 的驅(qū)動電壓下的位移行程，Max.驅(qū)動電壓可在 -20V~150V；對于高可靠的長期使用，建議驅(qū)動電壓在

0~120V。