TF-21D201/SH-30 系列
TF-21型?センサ ／ DTF-201型?受信器
SH-304型
センサ、受信器の分離可能
軽量、コンパクト 裝置への組込み可能
低濃度（0-10ppmレンジ対応）
TF-21型?センサ ／ DTF-201型?受信器
SH-304型
半導體製造裝置：拡散爐?RTP?各種N2爐內(nèi)雰囲気測定、空気分離裝置
| 形?式 | TF-21D201（TF-21型センサ＋DTF-201型受信器） | |
|---|---|---|
| センサ | TF-21 | |
| 受信器 | DTF-201 | |
| 測定原理 | ジルコニア濃淡電池方式 | |
| 測定レンジ | Min.0-10ppm ～ MAX.0-100％?ゼロ點固定で任意の4レンジ選択可能 | |
| 校?正 | エア點 ＋ MAX.4點校正可能 | |
| 出?力 | DC4～20mA × 1點（非絶縁出力、負荷抵抗600Ω以下） DC0～1V or DC0～5V or DC0～10V × 1點選択（非絶縁出力） | |
| サンプルガス? 校正ガス流量 | 0.5±0.02L/min. | |
| 精?度 | 繰返し性 | ±1％FS（0～1％レンジ未満）?±0.5％FS（0～1％レンジ以上） |
| 直線性 | ±1％FS（0～1%以上）±2％FS（0～1％未満）?±3％FS（0～100ppm未満） | |
| 応答時間 | 0-1％以上：10秒以下?0-1％未満：30秒以下?※校正ガス切替による90％応答 | |
| ドリフト | ±2％FS/週 以下 | |
| 供給電源 | AC85～132V?※オプション：AC170～264V、DC24V±10％ | |
| 接點入力 （無電圧接點入力） | レンジ切替入力 | |
| 觸點輸出 （集電極開路輸出，25 VDC，* 50 mA NO/NC 可切換） | 分析儀 異常 范圍 回聲 回聲（2 個量程識別） 范圍 回聲回聲（3 個量程識別） READY 濃度上限 警報（0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置） 濃度下 限警報（0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置） * 可從上述選項中選擇 4 個點，并可以更改設置。 | |
| 范圍切換 | 本地范圍切換 / 遠程范圍切換 / 自動范圍切換 * 可以從以上選擇和更改 | |
| 輸出 HOLD 設置 | 無 或 任意 值或 HOLD 在異常發(fā)生前 5 秒的值 * 預熱、傳感器和接收器異常時 HOLD | |
| 濃度上限和下限警報 | 上限警報：0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置 下限警報：0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置 | |
| RS232C 通訊功能 | 傳輸測量狀態(tài)、錯誤代碼、測量范圍和測量值 通信電纜規(guī)格：直線電纜 | |
| 形式 | SH-304 型 | |
|---|---|---|
| 傳感器 | TF-21 系列 | |
| 接收器 | DTF-201 系列 | |
| 測量原理 | 氧化鋯燈罩電池工法 | |
| 測量范圍 | 0-10 / 100 / 1,000ppm， 0-* **小 0-10ppm ~ * 0-* 零點固定，可任意 4 個范圍 | |
| 校對 | 空氣點 + MAX.4 點校準 | |
| 強度 | DC4~20mA × 1點（非隔離輸出，負載電阻600Ω以下） DC0~1V × 1點（非隔離輸出） | |
| 樣氣 / 校準氣體流速 | 0.3±0.05 升/分鐘 | |
| 準確性 | 重復性 | ±1%FS （小于 0~1% 范圍） ±0.5%FS （高于 0~1% 范圍） |
| 線性 | ±3%FS （小于 0~100ppm） ±2%FS （小于 0~1%） ±4%FS （0~1% 或更高） | |
| 響應時間 | 0-1% 或更高：10 秒或更短 0-1% 或更短：30 秒或更短 * 校準氣體切換時響應 90% | |
| 漂移 | ±2%FS/周或更低 | |
| 電源 | 直流24V±10% | |
| 輸入 （非電壓觸點輸入） | 范圍切換輸入 | |
| 觸點輸出 （集電極開路輸出，25 VDC，* 50 mA NO/NC 可切換） | 分析儀異常 READY 濃度上限警報 （0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置） 濃度 下限警報（0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置） 范圍 回聲（2 個范圍識別） 范圍回顯（3 范圍識別） * 前 4 項是標準項，后 2 項也可以更改。 | |
| 范圍切換 | 自動量程切換 * 也可以選擇遠程范圍和本地范圍切換，并且可以更改設置。 | |
| 輸出 HOLD 設置 | HOLD 在異常發(fā)生前 5 秒的值 * HOLD * 傳感器和接收器異常時保持 * 無 HOLD，任何值都可以選擇 HOLD。 | |
| 濃度上限和下限警報 | 上限警報：0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置 下限警報：0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置 | |
| RS232C 通訊功能 | 傳輸測量狀態(tài)、錯誤代碼、測量范圍和測量值 通信電纜規(guī)格：直線電纜 | |
TF-30/SH-20 系列
TF-30 傳感器 / DTF-201 接收器
SH-204-AW 系列
可分離的傳感器和接收器
重量輕、結(jié)構(gòu)緊湊 可集成到設備中
標準氣體，無需參考空氣（可進行 1 點空氣校準）
TF-30 傳感器 / DTF-201 接收器
型號 SH-204-CW
回流爐
鐵氧體燒成爐
其他氣氛控制和燃燒管理應用
| 形式 | TF-30D201 （TF-30 傳感器 + DTF-201 接收器） | |
|---|---|---|
| 傳感器 | TF-30 系列 | |
| 接收器 | DTF-201 系列 | |
| 測量原理 | 氧化鋯 2 單元泵系統(tǒng) | |
| 測量范圍 | *小 0-100ppm ~ * 0-25% 零點固定，可選擇 4 個量程 *25%?2 或更高無法測量。 | |
| 校對 | 帶校準氣體的空氣點 + * 3 點校準 空氣 1 點校準（0-1,000 ppm 或更高） 通過 DATA 輸入校準 （0-1,000 ppm 或更高，更換傳感器時） | |
| 強度 | DC4~20mA × 1 點（非隔離輸出，負載電阻 600Ω 以下） DC0~1V 或 DC0~5V 或 DC0~10V × 1 點選擇（非隔離輸出） | |
| 樣氣 / 校準氣體流速 | 0.5±0.1 升/分鐘 | |
| 準確性 | 重復性 | ±1%FS |
| 線性 | ±2%FS | |
| 響應時間 | 0-1,000 ppm 或更高：30 秒或更短 0-1,000 ppm：60 秒或更短 * 校準氣體切換時響應 90% | |
| 漂移 | ±2%FS/周或更低 | |
| 電源 | AC85~132V *選項：AC170~264V，DC24V±10% | |
| 輸入 （非電壓觸點輸入） | 范圍切換輸入 | |
| 觸點輸出 （集電極開路輸出，25 VDC，* 50 mA NO/NC 可切換） | 分析儀 異常 范圍 回聲 回聲（2 個量程識別） 范圍 回聲回聲（3 個量程識別） READY 濃度上限 警報（0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置） 濃度下 限警報（0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置） * 可從上述選項中選擇 4 個點，并可以更改設置。 | |
| 范圍切換 | 本地范圍切換 / 遠程范圍切換 / 自動范圍切換 * 可以從以上選擇和更改 | |
| 輸出 HOLD 設置 | 無 或 任意 值或 HOLD 在異常發(fā)生前 5 秒的值 * 預熱、傳感器和接收器異常時 HOLD | |
| 濃度上限和下限警報 | 上限警報：0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置 下限警報：0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置 | |
| RS232C 通訊功能 | 傳輸測量狀態(tài)、錯誤代碼、測量范圍和測量值 通信電纜規(guī)格：直線電纜 | |
| 形式 | SH-204-CW 型 | |
|---|---|---|
| 傳感器 | TF-30 系列 | |
| 接收器 | DTF-201 系列 | |
| 測量原理 | 氧化鋯 2 單元泵系統(tǒng) | |
| 測量方法 | 噴射抽吸型（也可提供內(nèi)置泵的型號） | |
| 測量范圍 | *小 0-100ppm ~ * 0-* 零點固定，可選擇 4 個范圍，*25%?2 或更高無法測量。 | |
| 校對 | 帶校準氣體的空氣點 + * 3 點校準 空氣 1 點校準（0-1,000 ppm 或更高） 通過 DATA 輸入校準 （0-1,000 ppm 或更高，更換傳感器時） | |
| 強度 | DC4~20mA × 1 點（非隔離輸出，負載電阻 600Ω 以下） DC0~1V 或 DC0~5V 或 DC0~10V × 1 點選擇（非隔離輸出） | |
| 樣氣 / 校準氣體流速 | 0.5±0.1 升/分鐘 | |
| 準確性 | 重復性 | ±1%FS |
| 線性 | ±5%FS | |
| 響應時間 | 0-1,000 ppm 或更高：30 秒或更短 0-1,000 ppm：60 秒或更短 * 校準氣體切換時響應 90% | |
| 漂移 | ±2%FS/周或更低 | |
| 電源 | AC100~240V±10% 50/60Hz | |
| 輸入 （非電壓觸點輸入） | 范圍切換輸入 | |
| 觸點輸出 （集電極開路輸出，25 VDC，* 50 mA NO/NC 可切換） | 分析儀 異常 范圍 回聲 回聲（2 個量程識別） 范圍 回聲回聲（3 個量程識別） READY 濃度上限 警報（0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置） 濃度下 限警報（0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置） * 可從上述選項中選擇 4 個點，并可以更改設置。 | |
| 范圍切換 | 本地范圍切換 / 遠程范圍切換 / 自動范圍切換 * 可以從以上選擇和更改 | |
| 輸出 HOLD 設置 | 無 或 任意 值或 HOLD 在異常發(fā)生前 5 秒的值 * 預熱、傳感器和接收器異常時 HOLD | |
| 濃度上限和下限警報 | 上限警報：0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置 下限警報：0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置 | |
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