美國(guó)MKS Baratron® 薄膜電容式壓力傳感器(溫度控制在45℃)

Baratron® 薄膜電容式壓力傳感器(溫度控制在45℃)

• 627D/629D 壓力傳感器，滿量程范圍：0.02 – 2000Torr，精度：讀數(shù)值的0.12%。
• E27D/E29D Etch壓力傳感器，滿量程范圍：0.02 – 100Torr，精度：讀數(shù)值的0.12%。
• 624D 壓力傳感器(帶繼電器觸點(diǎn)控制)，滿量程范圍：1 – 2000Torr，精度：讀數(shù)值的0.12%。
• 727A 緊湊型壓力傳感器，滿量程范圍：1 – 1000Torr，精度：讀數(shù)值的0.5%。
• 627 e-Baratron® 帶以太網(wǎng)通訊口的壓力傳感器，滿量程范圍：0.1 – 1000Torr，精度：讀數(shù)值的0.12%。
• E27C e-Baratron® 帶以太網(wǎng)通訊口的 Etch壓力傳感器，滿量程范圍：0.1 – 100Torr，精度：讀數(shù)值的0.12%。
• i-Baratron® DMB 帶DeviceNet™通訊口的數(shù)字壓力傳感器，滿量程范圍：0.1 – 1000Torr，精度：讀數(shù)值的0.12%。
•  D27D/D24D 雙量程壓力傳感器/壓力傳感器(帶繼電器觸點(diǎn)控制)，滿量程范圍：1 – 1000Torr，精度：讀數(shù)值的0.12%。

美國(guó)MKS Baratron® 薄膜電容式壓力傳感器(溫度控制在45℃)

美國(guó)MKS Baratron® 薄膜電容式壓力傳感器 ——627 e-Baratron® 帶以太網(wǎng)通訊口的壓力傳感器，滿量程范圍：0.1 – 1000Torr，精度：讀數(shù)值的0.12%。

十幾年以來(lái)， 600 系列 Baratron®電容壓力計(jì)由于它良好的性和可靠性在世界范圍內(nèi)得到了廣泛應(yīng)用， 成為業(yè)界的產(chǎn)品。 新的基于以太網(wǎng)的 e-Baratron® 627C 又增添了能與以太網(wǎng)集線器和其它器件連接以實(shí)現(xiàn)局域網(wǎng)或網(wǎng)絡(luò)診斷功能， 而無(wú)需將它從主系統(tǒng)中拆卸下來(lái)。 與其它MKS 的基于以太網(wǎng)的產(chǎn)品相類似， 600C 系列壓力計(jì)包含了嵌入式的互聯(lián)網(wǎng)瀏覽軟件， 使其能夠與運(yùn)行 Windows® 的 PC 進(jìn)行通訊。 由于以太網(wǎng)端口與標(biāo)準(zhǔn)模擬通訊端口是以并行方式運(yùn)行， 因此可以在工藝過(guò)程中對(duì)壓力計(jì)進(jìn)行實(shí)時(shí)的診斷——這為用戶執(zhí)行它們本身的系統(tǒng)分析和解決問(wèn)題時(shí)提供了極大的幫助。 對(duì)那些不使用以太網(wǎng)的用戶， 627C 有一套外部的 LED 指示燈， 能對(duì)壓力計(jì)的工作狀態(tài)提供直觀的， 快速的指示。

美國(guó)MKS Baratron® 薄膜電容式壓力傳感器(溫度控制在45℃)

E27C 使用了符合工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的 627C 作為平臺(tái)， MKS的工程師在傳感器中集成了一個(gè)沉積阻擋板， 避免了工藝中相關(guān)化學(xué)物沉積對(duì)傳感器探頭產(chǎn)生覆蓋的問(wèn)題。 的基于以太網(wǎng)的模擬 Baratron® E27C 增添了能與以太網(wǎng)集線器和其它器件進(jìn)行連接以進(jìn)行局域網(wǎng)或網(wǎng)絡(luò)診斷的功能， 而無(wú)需將它從主系統(tǒng)中拆卸下來(lái)。 與其它 MKS的基于以太網(wǎng)的產(chǎn)品相類似， E27C 壓力計(jì)包含了嵌入式互聯(lián)網(wǎng)瀏覽軟件， 使其能夠與運(yùn)行 Windows®的 PC 進(jìn)行數(shù)據(jù)通訊。 由于以太網(wǎng)端口與標(biāo)準(zhǔn)模擬通訊端口是以并行方式運(yùn)行， 因此能在工藝過(guò)程中對(duì)壓力計(jì)進(jìn)行實(shí)時(shí)的診斷——這為用戶執(zhí)行它們本身的系統(tǒng)分析和解決問(wèn)題提供了極大的幫助， 對(duì)那些不使用以太網(wǎng)的用戶， 627C 有一套外部的 LED 指示燈， 能對(duì)壓力計(jì)的工作狀態(tài)提供直觀的， 快速的指示。